질화규소 세라믹 튜브

디자인 특징
1. 재료과학 수준의 화학식 최적화
고순도 Si₃N₄ 기판: 순도 ≥99.5%, Y₂O₃-Al₂O₃ 복합 소결 보조제를 사용하여 입계 상의 분포를 제어함으로써 고온에서의 입계 연화 현상을 방지합니다.

그레이디언트 구조 설계: 관체의 내외층에 각각 차별화된 밀도를 적용(예: 내식성을 위한 고밀도 외층과 윤활유 저장을 위한 다공성 내층), 서비스 수명을 30% 연장합니다.

2. 극한 환경 적응성 설계
열충격 저항성 구조:

미세균열 편향 기술(β-Si₃N₃ 위스커의 방향성 배열을 통해)을 적용하여 ΔT≥800℃에서도 구조물의 완전성을 유지합니다.

파이프 끝부분에 열팽창 계수를 금속 플랜지와 일치시키기 위한 미리 설정된 금속화 전이층(Mo-Mn 방식)을 적용하여 균열 발생 위험을 제거합니다.

내식성 및 강도 향상:

표면 레이저 재용융 처리로 나노결정질 SiO₂ 패시베이션 피막을 형성하여 pH1~13의 산·알칼리 부식(불산 제외)에 내성을 확보합니다.

3. 정밀 엔지니어링 구조
추가 공차 관리:

내경 공차 ±0.005mm(에어 베어링 수준), 원형도 ≤0.003mm로 반도체 웨이퍼 이송에 적합합니다.

내벽 거울광택 가공(Ra≤0.05μm)으로 유체 저항을 감소시키고 입자 침착을 방지합니다.

특수 형상의 통합 설계:

내장형 냉각 채널, 다공성 투과 구조(예: 연료전지 바이폴라 플레이트의 가스 통로), 그리고 나사산/플랜지 일체형 성형 등을 지원합니다.