Tubo de cerámica de nitruro de silicio

Características de diseño
1. Optimización de fórmulas a nivel de ciencia de materiales
Sustrato de Si₃N₄ de alta pureza: pureza ≥99,5%, utilizando un sinterizante compuesto de Y₂O₃-Al₂O₃, con distribución controlada de la fase de límites de grano, evitando el ablandamiento de los límites de grano a altas temperaturas.

Diseño de estructura graduada: las capas interna y externa del cuerpo del tubo adoptan densidades diferenciadas (por ejemplo, una capa exterior de alta densidad para resistencia a la corrosión y una capa interior porosa para almacenar lubricante), prolongando la vida útil en un 30%.

2. Diseño para una adaptabilidad extrema al entorno
Arquitectura resistente al choque térmico:

Tecnología de deflexión de microfisuras (mediante la disposición direccional de whiskers de β-Si₃N₃) mantiene la integridad estructural cuando ΔT≥800℃.

Capa de transición metalizada preestablecida (método Mo-Mn) en el extremo del tubo, ajustada al coeficiente de expansión térmica de la brida metálica, para eliminar el riesgo de fisuración.

Resistencia a la corrosión y refuerzo:

Tratamiento de remelting láser superficial para formar una película pasivadora nanocristalina de SiO₂, resistente a la corrosión ácida y alcalina en pH 1-13 (excepto HF).

3. Estructura de ingeniería de precisión
Control adicional de tolerancia:

Tolerancia del diámetro interior ±0,005 mm (nivel de rodamiento de aire), redondez ≤0,003 mm, adecuado para el transporte de obleas semiconductoras.

Pulido espejo de la pared interna (Ra≤0,05 μm) reduce la resistencia al flujo y evita la deposición de partículas.

Diseño integrado de forma especial:

Admite canales de refrigeración integrados, estructuras porosas permeables (como el camino de gas de la placa bipolar de pilas de combustible) y moldeado integral de roscas y bridas.