Tubo de Cerâmica de Nitreto de Silício

Características de Design
1. Otimização de fórmulas em nível de ciência dos materiais
Substrato de Si₃N₄ de alta pureza: pureza ≥99,5%, utilizando aditivo de sinterização composto de Y₂O₃-Al₂O₃, com distribuição controlada da fase de limite de grão, evitando o amolecimento do limite de grão a altas temperaturas.

Projeto de estrutura gradiente: as camadas interna e externa do corpo do tubo adotam densidades diferenciadas (por exemplo, camada externa de alta densidade para resistência à corrosão e camada interna porosa para armazenamento de lubrificante), prolongando a vida útil em 30%.

2. Projeto para adaptabilidade a ambientes extremos
Arquitetura resistente a choques térmicos:

Tecnologia de deflexão de microfissuras (por meio do arranjo direcional de whiskers de β-Si₃N₃) mantém a estrutura intacta quando ΔT≥800℃.

Camada de transição metalizada pré‑definida (método Mo‑Mn) na extremidade do tubo, ajustada ao coeficiente de expansão térmica da flange metálica, eliminando o risco de fissuração.

Resistência à corrosão e reforço:

Tratamento de remelting a laser na superfície para formar uma película passivante de SiO₂ nanocristalina, resistente à corrosão por ácidos e álcalis em pH 1–13 (exceto HF).

3. Estrutura de engenharia de precisão
Controle extra de tolerância:

Tolerância do diâmetro interno ±0,005 mm (nível de rolamento a ar), redondeza ≤0,003 mm, adequado para a transmissão de wafers semicondutores.

Polimento espelhado da parede interna (Ra≤0,05 μm) reduz a resistência ao fluxo e evita a deposição de partículas.

Design integrado de forma especial:

Suporta canais de resfriamento embutidos, estruturas porosas permeáveis (como o canal de gás da placa bipolar de célula de combustível) e moldagem integrada de roscas e flanges.