Hliníková keramická rameno pro robotické manipulování s waferem

Konstrukční prvky

Vynikající tepelná odolnost

Hliníková keramika může stabilně pracovat při teplotách až 1650 °C, což je zásadní pro vysokoteplotní prostředí běžné ve výrobě polovodičů.

Vysoká odolnost proti opotřebení a chemická stabilita

Tento materiál nabízí výjimečnou odolnost vůči mechanickému opotřebení i chemické korozi, čímž zajišťuje dlouhodobou životnost a stabilitu.

Nevodivost

Nekonduktivní povaha hliníkové keramiky zaručuje, že při manipulaci s citlivými elektronickými součástkami nedochází k žádným statickým rušením, což je nezbytné pro prevenci poškození jemných obvodů.

Optimalizovaný geometrický design

S několika montážními otvory a dvěma podlouhlými rukojetmi umožňuje konstrukce snadné připojení k další mechanické zařízení při zachování vysoké přesnosti při provádění operací.

Povrchová úprava

Hladký povrch snižuje tření, čímž zvyšuje přesnost a spolehlivost během manipulačních procesů.

Oblasti aplikací

Hliníková keramická ramena mají široké uplatnění ve výrobě polovodičů, především v následujících oblastech:

Manipulace s křemíkovými wafry

Přesné transportování a umísťování křemíkových waferů za extrémních podmínek, čímž se zajišťuje efektivita a přesnost výrobního procesu.

Manipulace s citlivými elektronickými součástkami

Práce bez vytváření statické elektřiny, což chrání celistvost a funkčnost elektronických součástek.

Provoz ve vysokoteplotních a korozivních prostředích

Stabilita v chemicky agresivních plynových a vysokoteplotních prostředích činí tento materiál mimořádně užitečným při speciálních procesech jako je leptání a čištění.