질화규소(Si3N4) 세라믹스의 특성

Properties of Silicon Nitride （Si3N4) Ceramics
항목	단위	일반적 값
물리적 특성
밀도	g/cm³	3.2
기계적 특성
모스 경도	등급	9
록웰 경도	HRA	90
비커스 경도(Hv50)	HV0.5	＞1550
탄성 계수	Gpa	290
굽힘강도	Mpa	＞600
압축강도	Mpa	2500
Fracture toughness	Mpam1/2	＞6.0
열적 특성
Maximum use temperature	°C	1200
열전도율	W/(m.k)	15-20
열팽창계수	10⁻⁶/°C	＞3.1
열충격 저항성	△T°C	500
비열 용량	KJ/kg.K	700
Electrical Properties
유전 강도	KV/mm	15
유전 상수	Er
20°C에서의 체적 저항률	Ω·cm	1.0X1012