窒化ケイ素（Si3N4）セラミックの特性

Properties of Silicon Nitride （Si3N4) Ceramics
項目	単位	典型的な値
物理的特性
密度	g/cm³	3.2
機械的特性
モース硬度	等級	9
ロックウェル硬さ	HRA	90
ビッカース硬さ（Hv50）	HV0.5	＞1550
弾性率	GPa	290
曲げ強度	MPa	＞600
圧縮強度	MPa	2500
Fracture toughness	MPa·m¹/²	＞6.0
熱的特性
Maximum use temperature	°C	1200
熱伝導率	W/(m.k)	15-20
熱膨張係数	10⁻⁶/°C	＞3.1
熱衝撃耐性	△T°C	500
比熱容量	KJ/kg·K	700
Electrical Properties
誘電強度	KV/mm	15
誘電率	Er
20°Cにおける体積抵抗率	Ω·cm	1.0X1012